RAMANdrive Wafer Analysis System — специализированная модель серии Nanophoton для анализа полупроводниковых пластин. Производитель формулирует назначение прямо: RAMANdrive отвечает потребностям полупроводниковых применений, обеспечивая стабильность, скорость, воспроизводимость и точность при анализе пластин.
От исследовательских моделей серии прибор отличается не оптикой, а тем, что построен вокруг пластины как объекта.
Столик 300 × 300 × 35 мм принимает пластины диаметром до 300 мм целиком, удержание вакуумными каналами и фиксирующими штырями.
Интеграция с инспекционным оборудованием. Координаты дефектов загружаются из штатного инспекционного инструмента, и система сама подводит пластину к нужным точкам. Это переводит прибор из разряда исследовательских в производственный контур: инспекция находит дефект, Раман определяет, что это такое.
Фотолюминесценция на ультрафиолетовом лазере 325 нм — визуализация дефектов и примесей, распределение галлия в нитриде галлия, спектры квантовых точек InGaN. Раман и фотолюминесценция на одном приборе закрывают обе задачи контроля соединений A3B5.
Объектив тёмного поля — единственный в серии; применяется для обнаружения частиц размером менее 100 нм.
Оптическая схема наследует линейное освещение: 400 спектров за один лазерный импульс. Режим AreaFlash расширяет лазерное пятно для быстрого обзорного покрытия большой площади одним снимком — полная и представительная картина при экспресс-анализе, пусть и с меньшим разрешением.
Конфокальная глубинная профилировка позволяет визуализировать распределение механических напряжений в прозрачных материалах — карбиде кремния и нитриде галлия — и анализировать политипы карбида кремния. Для силовой электроники на SiC это ключевые задачи входного контроля.
Спектральное разрешение лучше 1,2 см⁻¹; полуширина 1,2 см⁻¹ при 785 нм и решётке 1200 штр/мм, пиксельное разрешение 0,4 см⁻¹ на пиксель. Точность определения положения пика 0,1 см⁻¹ (532 нм, 2400 штр/мм). Спектральный диапазон от 100 см⁻¹, опционально от 50 см⁻¹.
Пространственное разрешение: 350 нм по X, 500 нм по Y, 1 мкм по Z (532 нм, объектив 100×, апертура 0,90).
Спектрометр 550 мм, решётки 150–2400 штр/мм (одновременно до трёх), детектор ПЗС 1340 × 400 пикселей с термоэлектрическим охлаждением. Лазеры 325, 355, 488, 532, 671 и 785 нм.
Габариты 1276 × 1320 × 1350 мм, масса 390 кг вместе с виброизолирующим столом.