Полноразмерные возможности СЭМ в настольном корпусе: увеличение до 200 000×, четырёхквадрантный BSE-детектор и встроенный ЭДС-анализ элементного состава без отдельной приставки.
Настольный сканирующий электронный микроскоп SEMPLOR ONYX: увеличение до 200 000×, разрешение менее 8 нм, детекторы SE и 4-квадрантный BSE, встроенный ЭДС-спектрометр SDD 30 мм².
ONYX — настольный сканирующий электронный микроскоп, в котором элементный анализ не докупается отдельно, а входит в состав прибора. Энергодисперсионный спектрометр с кремниевым дрейфовым детектором встроен в колонну, поэтому изображение и состав получаются в одном сеансе и в одной программе.
Диапазон увеличений от 100× до 200 000× при разрешении лучше 8 нм закрывает и обзорную съёмку образца целиком, и работу с субмикронными деталями. Захват кадра ведётся с матрицей до 4096×4096 точек — такого разрешения достаточно для публикаций и для последующего количественного анализа изображений.
Набор детекторов определяет, что именно видно на снимке. Детектор вторичных электронов даёт рельеф поверхности. Четырёхквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов работает по среднему атомному номеру: включая и выключая отдельные квадранты, оператор переключается между композиционным контрастом (разные фазы различаются по яркости) и топографическим (подчёркивается рельеф). ЭДС-спектрометр с площадью кристалла 30 мм², энергетическим разрешением менее 129 эВ по линии Mn Kα и скоростью счёта до 300 000 имп/с даёт качественный и количественный элементный состав, точечные спектры, линейные профили и карты распределения элементов.
Вакуумная система построена на турбомолекулярном насосе Pfeiffer и безмасляном мембранном форвакуумном насосе — это исключает загрязнение камеры парами масла. Помимо высокого вакуума доступен режим низкого вакуума до 40 Па: он позволяет смотреть непроводящие образцы — полимеры, керамику, биологические объекты — без напыления проводящего покрытия.
Камера 220×220 мм и моторизованный XY-столик с ходом 110×110 мм рассчитаны на серийную работу: в держатели устанавливается до 16 столиков диаметром 1 дюйм или до 64 столиков диаметром полдюйма, высота образца — до 50 мм. Источник электронов — термоэмиссионный вольфрамовый катод с ресурсом более 1000 часов в экономичном режиме; ускоряющее напряжение переключается ступенями 1, 2, 5, 7, 10, 15 и 20 кВ.
Программное обеспечение состоит из трёх частей: Discover Suite управляет микроскопом и съёмкой, Discover EDS отвечает за элементный анализ, пакет прикладных модулей Explore Apps добавляет автоматизированный анализ частиц, измерение волокон и построение 3D-реконструкции поверхности.
Технологии для точных ответов
ИЗБРАННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
01/ 05
Решения для вашей отрасли
Сферы применения
От задачи лаборатории — к методу и оборудованию.
Предлагаемые решения
Micro Solutions / О компании
Технологии для экспертов
Micro Solutions — профессиональный интегратор лабораторных решений в Казахстане и странах Центральной Азии
Соединяем возможности ведущих брендов с задачами вашей лаборатории. Помогаем подобрать оборудование, организуем поставку, запуск, обучение и сервисную поддержку.
